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Business

머신비전 장비

Creation & Innovation,
A Leader of Machine Vision

반도체 분야

Wafer Probe Card 검사장비

Wafer Probe Card Inspection System
제품명

Wafer Probe Card 의 이상유무를 검사하는 Machine Vision System 장비. 정밀 Aling System이 적용되어 매우 정밀한 작동이 가능하고, 높은 수준의 검사가 가능합니다.

Specification
- 검사 대상 : Wafer Probe Card
- 검사 항목 : 이상 유무
Machine Features
- Wafer Probe Card 이상유무 검사
- Wafer Probe의 관리를 진행 하여 생산성 향상
- Camera를 이용한 정밀 Align 진행 및 높은 검사 신뢰성
- DUT별 검사 진행
- Probe 검사 전 3D Scan하여 안착도 검사 가능
- CAD Data를 이용한 맵핑 진행